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FS1015系列气体质量流量传感器
产品介绍
FS1015E系列气体质量流量传感器是专为各类医学用气体的测量和程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统MEMS)流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。测量范围最大到150SLPM，ISO15mm连接方式适用于呼吸机、麻醉机等多种医疗设备。
产品特点
- 传感器灵敏度高，有极小的始动流量
- 传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
- 在单个芯片上集成了多个传感器，使传感器的量程比大大提高
- 传感器的零点稳定度高
- 全量程高稳定性
- 全量程高精确度和优良的重复性
- 低功耗、低压损
- 响应速度快
机械尺寸
技术参数
| 参数 | 数值 | 单位 |
|---|---|---|
| 流量范围 | 0~100/0~150 | SLPM |
| 量程比 | 100:1 | - |
| 精度 | ±(2.0+0.5FS) | % |
| 重复性 | 0.5+0.15FS | % |
| 零点输出漂移 | ±30 | mV |
| 输出漂移 | ±0.12 | %/°C |
| 响应时间 | 8 | ms |
| 工作电源 | 5±5% | VDC |
| 输出方式 | 线性:模拟电压0.5~4.5VDC/I²C | - |
| 最大流量压损 | 1300 | Pa |
| 最大工作压力 | ≤0.2 | MPa |
| 工作温度 | -10~+55 | °C |
| 储存温度 | -20~+65 | °C |
| 工作湿度 | <95%RH(无结冰、无凝露) | - |
| 电气接口 | 5针插座,南士CDR-5 | - |
| 机械接口 | ISO 15 mm或 1/2MNPT | - |
| 校准方式 | 空气(20°C,101.325kPa) | - |
| 重量 | 21.5 | g |
| 最大允许流量 | 300 | SLPM |
| 最大允许流量变化 | 40 | SLPM/s |
1、以上参数在为20°C， 101.325kPa下测得。
2、配线SN5-50的插头为南士CD H-5。
产品选型
- 3、最大流量的单位为SLPM，比如：100代表最大流量为100SLPM
4、对二氧化碳，最大流量可选100，不可选150。
