FS1100系列气体质量流量传感器

产品介绍

FS1100系列气体质量流量传感器是专为各类医用呼吸机体测量和控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作,适用于空气、氧气或空氧混合气的测量。成本低、易安装、不需要温度压力补偿,可替代容积式或压差式的传统流量计,测量范围最大可到250SLPM。

产品特点

  • 传感器灵敏度高,有极小的始动流量
  • 传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传感器的高精度计量
  • 在单个芯片上集成了多个传感器,使传感器的量程比大大提高
  • 集成温度传感器
  • 响应时间快
  • 低功耗、低压损
  • 专为医疗设备设计

机械尺寸



技术参数

参数分类 参数 数值 单位
流量信号 流量范围 最大-250~+250 SLPM
量程比 100:1
精度 ±(2.0+0.5FS) %
重复性 0.5 %
温度信号 温度范围 -20~+80
精度 ±2.5
其他参数 响应时间 5 ms
工作电源 5(±5%) VDC
输出方式 线性:双路模拟电压(0.5~2.5)VDC, I²C
最大流量压损 <2000Pa@200SLPM
最大工作压力 ≤0.2 MPa
储存温度 -20~+65
电气接口 Molex 87831-1041 ( THT)
符合性 ROHS, REACH

1、以上参数在为20℃,101.325kPa下测得。
2、为了确保传感器的测量精度,使用前需要预热一分钟。

产品选型


  • 3、最大流量的单位为SLPM,比如250代表最大流量为250SLPM;反向流量不能大于正向流量;反向流量为0表示只有正向输出。
    4、例如FS1100-50F250,表示流量范围-50+250SLPM。