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FS4001E系列气体质量流量传感器
产品介绍
FS4001E系列气体质量流量传感器是专为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。独特的封装技术使之在相同的管径下可测量不同范围的流量，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量传感器并配以多种信号输出，通过通讯接口可实现对传感器的灵活配置与参数查询。
产品特点
- 传感器灵敏度高，有极小的始动流量
- 传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
- 在单个芯片上实现了多传感器集成，使传感器的量程比大大提高
- 传感器的零点稳定度高
- 全量程高稳定性，全量程高精确度和优良的重复性
- 低功耗、低压损
- 响应速度快
机械尺寸
技术参数
| 参数¹ | 数值 | 单位 | |
|---|---|---|---|
| 流量范围 | 30，100，200 | 500，1000 | sccm |
| 量程比 | 100:1 | - | |
| 精度 | ±(1.5+0.5FS) | % | |
| 重复性 | 0.5+0.15FS | % | |
| 零点输出漂移 | ±30 | mV | |
| 输出漂移 | ±0.12 | %/℃ | |
| 响应时间 | 65（默认，可设置4，8，16，33，131） | ms | |
| 工作电源 | 8~24VDC，50mA | - | |
| 输出方式 | 线性：RS232/I²C/模拟电压0.5~4.5VDC | - | |
| 最大流量压损 | 20 | 30 | Pa |
| 最大工作压力 | ≤0.5 | MPa | |
| 工作温度 | -10~+55 | ℃ | |
| 储存温度 | -20~+65 | ℃ | |
| 工作湿度 | <95%RH（无结冰、无凝露） | - | |
| 机械接口 | 可拆式软管接头 | - | |
| 校准方式 | 空气（20℃，101.325kPa） | - | |
| 重量 | 15 | g | |
| 最大允许流量 | 3 | 10 | SLPM |
| 最大允许流量变化 | 500 | 1500 | sccm/s |
1、以上参数在为20℃，101.325kPa下测得。
产品选型
- 2、最大流量的单位为sccm，比如100代表最大流量为100sccm；
3、对二氧化碳，最大流量可选 30，100，200，500和750，不可选1000；
4、传感器的标准输出为模拟电压，RS232和I²C为选项。
