产品介绍

MFC2000系列质量流量控制器采用公司专有的MEMS热传感技术与智能控制电路，这种独特的质量流量传感技术消除了一些扩散率相似的气体的气体敏感性，并允许在编程后进行气体识别。本产品可用于动态范围为100:1的过程控制，其控制范围为0.1至0.8MPa（15至120 PSI）的压力和0至55℃的补偿温度。该产品的设计便于更换机械连接器，标准连接器可选双卡套、VCR或UNF，其他定制连接器可根据需求提供。

产品特点

采用MEMS热量传感技术
量程比大于100:1
良好的温度效应
机械接口可定制
各种标准通讯选项可供选择

机械尺寸

技术参数

参数	规格	单位
流量量程	50/100/200/500/1000/2000/5000 1/2/5/10/20/50/100/200	mLn/min Ln/min
精度（标定工况下）	±1.0%（20~100%满量程） ±0.2%FS（＜20%满量程）
重复性	0.3%（20~100%满量程） 0.06%FS（＜20%满量程）
工作范围/量程比	100:1
最大可控流量	102	%FS
控制压力范围	0.1~0.8（≤20Ln/min）/0.1~0.7（50/100/200Ln/min）	MPa
爆破压力	1.5	MPa
泄漏率	≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s (He)
工作电源	12~24VDC，1A
满量程压损	120	kPa
控制信号	模拟信号：4~20mA、0~5.0VDC或数字信号RS485
最大零点漂移	30	mVDC
稳定时间	100	ms
控制阀门	常闭
工作温度	0~55	℃
模拟输出	4~20mA、0~5.0VDC
数字输出	RS485 Modbus
标准状态	空气（0℃，101.325kPa）
符合性	RoHS，REACH，EN61000-2；-3；-4

1、以上参数在为20℃，101.325kPa下测得。

产品选型

2、选型最大流量4位时默认流量为mLn/min，最大流量3位时默认流量为Ln/min；
3、此信号为出厂时默认控制信号。