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MF3000系列气体质量流量计

产品介绍

MF3000系列气体质量流量计直接测量气体质量流量。该流量计工作压力提高到0.8MPa，测量范围涵盖（0~2）SLPM到（0~1500）SLPM。本产品可用于工业应用中的焊接机器、激光设备、气体混合控制等。

产品特点

  • 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿
  • 在单个芯片上实现了多传感器集成，量程比高
  • 全量程高精确度和优良的重复性
  • 响应速度快
  • 可选择LED显示瞬时流量与累积总量和按键功能
  • 多种输出方式
  • 多种连接方式

机械尺寸

MF3000 2~200SLPM R1/4螺纹


最大流量 H H1
2，5，10，20，50SLPM 44 12
100，200SLPM 48 13
其他接口尺寸请与厂商联系

MF3000 500~1500SLPM Rc1/2螺纹



技术参数

参数¹ MF3000 单位
最大流量(空气，氮气，氧气，氩气) 2，5，10，20，50   100，200   500，1000，1500 SLPM
最大流量(二氧化碳) 2，5，10，20   50，100   200，500，800 SLPM
量程比 50:1
精度² ±(2.5+0.5FS) %
重复性 0.8+0.15FS %
零点输出漂移 ±30 mV
输出漂移 ±0.12 %/℃
响应时间 10 ms
工作电源 8~24VDC，50mA VDC
信号输出1（数字信号） RS485/I²C
信号输出2/3 模拟电流4~20mA/模拟电压1~5VDC/NPN/PNP
工作压力（表压） 0.05~0.8 MPa
工作温度 -10~+55 ℃
储存温度 -20~+65 ℃
工作湿度 ＜95%RH（无结冰、无凝露）
机械接口 BSPT1/4外螺纹、
4/6/8mm快速接头
或8mm L型接头   BSPT1/4外螺纹、
8mm快速接头
或8mm L型接头   BSPT1/2内螺纹
标准校准气体 空气（20℃，101.325kPa）
符合性 RoHS，REACH

1、以上参数在为20℃，101.325kPa下测得。

2、为了确保流量计的测量精度，使用前需要预热一分钟，传感器默认为空气校准，测量其他气体时候，精度会有所下降。

产品选型


型号 最大流量（空气） 机械接口
MF3000 2，5，10，20，50SLPM R－BSPT1/4外螺纹（R1/4螺纹）；O4/O6/O8－4/6/8mm快速接头；L8－8mmL型接头
100，200SLPM R－BSPT1/4外螺纹（R1/4螺纹）；O8－8mm快速接头；L8－8mmL型接头
500，1000，1500SLPM R－BSPT 1/2内螺纹（Rc 1/2螺纹）

3、最大流量的单位为SLPM，比如200代表最大流量为200SLPM，对二氧化碳，最大流量可选2，5，10，20，50，100，200，500，800，不可选1000，1500。