产品介绍

MF4700系列气体质量流量计均采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。MF4700具有清晰直观的LED显示屏，可显示实时流量与累计总量。MF4700直接输出质量流量，不需要温度压力补偿。MF4700具备按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数，并具有RS485网络通讯接口以便于用户远程操控及系统集成。机械尺寸和流量范围可根据客户需求进行定制。

产品特点

传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了流量计的高精度计量
在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了50:1甚至更高
输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据或由上位机查询输出数据，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
LED显示瞬时流量和累积总量，允许现场用按键配置流量计参数
可记录自上电以来瞬时流量的最大值和最小值，具有超量程指示功能
配有RS485通讯模块，便于集中控制和远程传输
机械尺寸与流量范围可根据客户需求定制

机械尺寸

MF4712

MF4719

技术参数

参数¹	MF/FS4701	MF/FS4703	MF/FS4708	MF/FS4710	MF4712	MF4719	单位
最大流量 (空气，氮气，氧气，氩气)	100，200，500	1000 1，2，5	10，20，50	100	200，300	500，800，1000	sccm SLPM
最大流量 (二氧化碳)	100，200	500 1，2	5，10，20	50	100，200	300，500	SLPM
量程比	50:1
精度	±(2.0+0.5FS)						%
重复性	0.5+0.15FS						%
零点稳定度	0.1						%FS
输出漂移	±0.12						%/℃
响应时间	10（默认，可设置20，50，100，200，500，1000）						ms
工作电源	8~24VDC，50mA
输出方式	线性：RS485+模拟电压0.5~4.5VDC/模拟电流4~20mA
显示方式	4位7段LED数码管显示，2个指示灯
瞬时流量单位	sccm 或 SLPM
累积流量单位	sccm对应scc或SL，SLPM对应SL或Nm³
瞬时流量分辨率	100，200，500sccm分辨率0.1或1sccm，默认1sccm 1000sccm分辨率1sccm 1，2，5SLPM分辨率0.001，0.01，0.1或1SLPM，默认0.01SLPM 10，20，50SLPM分辨率0.01，0.1或1SLPM，默认0.1SLPM 100，200，300，500，800SLPM分辨率0.1或1SLPM，默认1SLPM 1000SLPM分辨率1SLPM
累积流量分辨率	最大流量100~1000sccm：0.1scc或0.01SL 最大流量1~1000SLPM：0.1SL或0.01Nm³
累积流量最大值	最大流量100~1000sccm：9999999.9scc或999999.99SL 最大流量1~1000SLPM：9999999.9SL或999999.99Nm³
最大工作压力	≤1.0						MPa
工作温度	-10~+55						℃
储存温度	-20~+65						℃
工作湿度	＜95%RH（无结冰、无凝露）
机械接口	NPT或BSPT内螺纹
键盘	三个按键
电气接口	MF4701/03/08/10，FS4701/03/08/10：CDR-5				MF4712/19：M8插座
标准校准气体	空气（20℃，101.325kPa）

1、以上参数在为20℃，101.325kPa下测得。

产品选型

型号	机械接口	空气最大流量	CO₂最大流量
MF/FS4701	N1-NPT1/8内；R1-BSPT1/8内	100/200/500/1000sccm	100/200/500sccm
MF/FS4703	N1-NPT1/8内；R1-BSPT1/8内	1/2/5SLPM	1/2SLPM
MF/FS4708	N3-NPT3/8内；R3-BSPT3/8内	10/20/50SLPM	5/10/20SLPM
MF/FS4710	G4-G1/2内	100SLPM	50SLPM
MF4712	N4M/N4F、R4M/R4F	200/300SLPM	100/200SLPM
MF4719	N6M/N6F、R6M/R6F	500/800/1000SLPM	300/500SLPM

2、流量仅填写数值，单位sccm/SLPM，例5=5SLPM。

3、CO₂流量只能选用表格内对应规格。

4、标配RS485，0.5~4.5VDC、4~20mA为选配。