产品介绍

MF5000系列气体质量流量计是结合微机电系统（MEMS）流量传感芯片技术和计算机自适应技术历经多年，开发出的智能化全电子式气体质量流量仪表，主要技术性能处于国际领先水平，具有高灵敏度、高精度、大量程比等特点；针对工业环境，融合了多种抗干扰措施的电磁兼容设计；且具有多种信号输出，能通过通讯接口实现网络管理功能；本产品在性能、安装和维护方面也具有其独特的优越性，可广泛应用于石油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域。

产品特点

采用微机电系统芯片加工技术和大规模集成电路的生产技术及材料生长技术，传感器的尺寸缩小到了微米量级，使该流量计的灵敏度大大提高。
在单个芯片上实现了多传感器集成，使该流量计的量程比（范围）大大提高。
传感器零点稳定度较之传统的热式质量流量计有极大的改善。
结合二次仪表的微电脑智能技术，使流量计重复性好，实现了计量准确可靠。
技术进步带来的结构简化，使流量计较之传统的机械式仪表，压力损失大幅度减小，极大地降低了能源消耗。
采用LCD显示瞬时流量和累积流量，清晰直观，读数方便。
产品融合了电磁兼容设计技术，具有更高抗干扰能力。
流量计带有RS485通讯模块，配合上位计算机网络可实现集中管理。
可以选配4~20mA标准电流信号输出。

机械尺寸

产品型号	通径(mm)	L	A	接口规格D(NPT外螺纹或NPT内螺纹)
MF5003	3.0	138	50	1/8"
MF5006	6.0	144	50	1/4"
MF5008	8.0	144	50	3/8"
MF5012	12.0	150	50	1/2"
MF5019	19.0	182.5	70	3/4"

技术参数

参数	数值	单位
最大流量	15, 50, 120, 300, 800	SLPM
精度	±(1.5+0.5FS)	%
重复性	0.5+0.15FS	%
响应时间	125	ms
最大工作压力	1.5	MPa
工作温度	-10~+55	℃
湿度	<95%RH(无结冰,无凝露)
工作电源	8~24VDC, 50mA(模拟电流4~20mA输出需要12~24Vdc)
LCD显示	瞬时流量,累积流量
输出	4~20mA; RS485
机械接口	NPT1/8" ~ NPT 3/4"
校准条件	空气(20℃,101.325kPa)
防爆等级	Ex ia IIC T4 Gb
防护等级	IP65

1、以上参数在为20℃,101.325kPa下测得。

产品选型

产品型号	通径(mm)	接口规格	流量SLPM	m³/h	SCFM
MF5003	3.0	N1M:NPT1/8"外螺纹;N1F:NPT1/8"内螺纹	0.15~15	-	-
MF5006	6.0	N2M:NPT1/4"外螺纹;N2F:NPT1/4"内螺纹	0.5~50	0.03~3	0.02~2
MF5008	8.0	N3M:NPT3/8"外螺纹; N3F:NPT3/8"内螺纹	1.2~120	0.072~7.2	0.05~5
MF5012	12.0	N4M:NPT1/2"外螺纹; N4F:NPT1/2"内螺纹	3~300	0.18~18	0.1~10
MF5019	19.0	N6M:NPT3/4"外螺纹; N6F:NPT3/4"内螺纹	8~800	0.48~48	0.3~30

2、最大流量与最小流量的默认单位为 SLPM，可通过按键或 RS485 通讯改为其他单位，为标准状态 (101.325kPa，20℃) 下的流量。选择默认单位时，仅写出数字；选择其它单位时，必须将数字和单位同时写出。
3、对二氧化碳，流量范围分别为 0.15~10，0.5~30，1.2~80，3~200 和 8~500SLPM。